研磨是在精加工基础上用研具和磨料从工件表面磨去一层极薄金属的一种磨料精密加工方法。金属研磨工艺是能让产品的外观去除毛刺达到美观的效果。在晶棒、晶圆的制造过程中,切割、研磨、划片、减薄、化学研磨平坦化等工艺后的清洗过程中,均会产生研磨废水。金属研磨废水一般含有大量的金属、研磨液(主要是油),清洗液等污染物,若这些废水不经处理,直接排放,将严重污染环境,必须经过处理方能排放。
(研磨废水)
研磨废水为高浓度无机废水,主要以悬浮物为主,废水呈碱性,废水中的污染物主要为粒径极小且不易沉降的稳定悬浮颗粒、硬度、碱度及少量有机物等,此研磨废水处理难度极大。
(研磨废水破乳剂)
研磨废水破乳剂属于高分子聚合物,能将废水中含油物质和水中油分,进成分解破坏乳状液的表面活性剂,部分取代稳定膜的作用使乳状液破坏,把油和水分散集破乳、吸附、絮凝、沉淀。在水中同时能吸附电和,去除水中的COD高的问题。
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