
光刻胶废水是半导体 / 晶圆制造光刻工序产生的高碱、高 COD、含难降解感光树脂与 TMAH(四甲基氢氧化铵) 的有机废水,核心难点是脱色、降 COD、除 TMAH 与脱毒。
光刻胶的废水主要来源于对原材料的纯化产生的废水、生产过程中产生的废液、清洗设备产生的废水等。基本上都是为了生产原材料配比能顺利达到合格标准,设备中残留的原材料或者反应不完全材料直接会导致生产过程中的原材料比例不对。因此需要对设备进行清洗,将残留部分进行清除。

一、光刻胶废水核心特点
强碱性:pH 10–14,含 TMAH、NaOH、碳酸钠。
高 COD:COD 5,000–30,000 mg/L,主要来自光刻胶树脂(PMMA / 酚醛树脂)、感光剂(重氮化合物)、TMAH 与有机溶剂。
高色度:深黄 / 棕褐色,含共轭双键感光基团,难脱色。
难降解、有毒:B/C<0.3,含重氮、芳香环、氟化物、锑 / 铜微量重金属,抑制生化菌。
水质波动大:批次排水,浓度忽高忽低,含未溶解胶体树脂。
光刻胶废水中常含有大量的有机溶剂和乳化剂,处理这些废水时,破乳剂是一种重要的添加剂。破乳剂可以破坏乳化液中的乳化结构,使得水相和油相分离,从而提高清理效果。
选择合适的光刻胶废水破乳剂需要考虑以下几点:
化学性质:保证破乳剂具备良好的兼容性和破乳能力。
浓度:根据废水的特性,调整破乳剂的用量,以达到最佳效果。
环境友好性:避免使用对环境有害的化学品,尽量选择生物降解性好的产品。
实际应用中,通常会根据具体的废水成分和处理工艺进行实验,以确定最佳的破乳剂及其剂量。

